OMEGA FMA6600 and FMA6700多参数质量流量计

产品描述

高、低气体流量报警限值可通过键盘预先编程或通过数字接口远程编程。当当前流量读数等于或高于/低于高、低报警水平的相应值时，报警条件变为真。报警动作可指定预设的延迟间隔（0-3600秒），以激活触点闭合器（高报警和低报警分开）。压力报警（FMA6700系列）高和低气体压力报警限值可通过键盘或通过数字接口远程编程。当当前压力读数等于或高于高压报警设置的相应值或等于或低于低压报警设置的相应值时，压力报警条件变为真。可以指定报警动作来激活触点闭合器（高压和低压报警分开）。温度报警（FMA6700系列）高和低气体温度报警限值可通过键盘或通过数字接口远程编程。当当前温度读数等于或高于高温报警设置的相应值或等于或低于低温报警设置的相应值时，温度报警条件变为真。可以指定报警动作来激活触点闭合器（高温和低温报警分开）。

工程单位

流量设定点、测量气体流量和相关累加器数据通过前面板键盘或数字接口以工程单位直接缩放。支持以下度量单位：%F.S.，L/min，L/h，mL/min，mL/h，SCFH，SCFM，LbPH，LbPM，用户定义的EU。

多气体校准

FMA6600系列能够存储多达10种气体的主要校准数据。此功能允许对同一FMA6600系列进行多种气体校准，同时保持每种气体的额定精度。

标准10点NIST校准

可选择最多9个额外的10点校准，每种气体可额外收费。

换算系数

FMA6600和FMA 6700系列中存储了多达32种气体的转换系数。此外，还规定了用户定义的换算系数。转换系数可通过键盘或数字接口命令应用于十种气体标定中的任何一种。

触点闭合

提供两组干触点继电器输出，以启动用户提供的设备。这些可通过本地键盘或数字接口编程，以便在发生指定事件时（例如，当超过低或高流量、压力或温度报警限值或当累加器达到指定值时），继电器可以切换。

泄漏完整性

1 x 10-9 sccs的氦气，最大可输送至外部环境。

FMA6600/FMA6700传感器不应用于监测氧气，除非专门为此类应用清洁和准备。订购详情见下文。

规格

准确度：

FMA6700：±FS的1%，包括线性[0到50°C和0.35至6.8 bar（5至100 psia）]

FMA6600：±校准条件[101 KPa（14.7 psia）和21.1 psi]下FS的1%°C（70）°F） ]

压力范围：0至6.8 bar（100 psig）（测量）

压力精度：±FS的1%

温度范围：0至50°C（测量）

温度精度：±1°C

重复性：±满量程的0.15%

响应时间：单位在1.0秒时达到10 LPM，单位在2秒时超过10 LPM±设定值的2%超过满标度的25%至100%

临时雇员。系数：满量程的0.15%/°C或更好

压力系数：满量程的0.01%/psi（0.07 bar）或更高

最大气体压力：6.8 bar（100 psig